六氟化钨是什么？
六氟化钨，尤其是高纯六氟化钨是一种重要的半导体支撑材料。
六氟化钨的分子式为WF6，分子量为297.830，沸点为17.5℃，熔点为2.3℃，室温下是一种无色气体，有强刺激性，有毒，毒性与氟相似。
六氟化钨能溶于多数有机溶剂，遇水分解，在空气中被潮气分解而强烈冒烟。
六氟化钨化学性质活泼，几乎能和除金和铂外的所有金属反应，对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性。
六氟化钨是钨的氟化物中唯一稳定并被工业化生产的品种。
六氟化钨是电子工业中作为金属钨化学气相沉积（CVD）工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路（LSI）中的配线材料。
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