高纯六氟化钨的主含量和杂质指标有哪些?
| 元素 (Element) | 单位Units | 含量(index) | ||
| 六氟化钨Tungsten hexafluoride | ≥,% | 99.9 | 99.999 | 99.9995 | 
| 四氟化碳Carbon tetrafluoride(CF4) | ≤,ppm | 10 | 0.5 | 0.5 | 
| 氮气Nitrogen(N2) | 50 | 1 | 0.5 | |
| 氧+氩Oxygen+ Argon(O2+Ar) | 50 | 0.5 | 0.5 | |
| 二氧化碳Carbon dioxide(CO2) | 0.5 | 0.5 | ||
| 一氧化碳Carbon monoxide(CO) | 0.5 | 0.5 | ||
| 六氟化硫Sulfur hexafluoride(SF6) | 10 | 0.5 | 0.5 | |
| 四氟化硅Silicon tetrafluoride(SiF4) | 10 | 0.5 | 0.5 | |
| 氟化氢Hydrogen fluoride(HF) | 800 | 1 | 1 | |
| 钼Molybdenum(Mo) | 更多详细数据和性能指标敬请联系中钨智造科技有限公司或者访问我们的网站、关注“中钨在线”微信公众号。 | 10 | ||
| 铁Iron(Fe | 5 | |||
| 钾Kalium(K) | 5 | |||
| 钠Sodium(Na) | 5 | |||
| 铬Chromium(Cr) | 5 | |||
| 钍Thorium(Th) | 0.1 | |||
| 铀Uranium(U) | 0.05 | |||
| 钴Cobalt(Co) | ||||
| 锰Manganese(Mn) | 5 | |||
| 铅Plumbum(Pb) | 5 | |||
| 锌Zinc(Zn) | 5 | |||
| 钙Calcium(Ca) | 5 | |||
| 镁Magnesium(Mg) | 5 | |||
| 镍Nickel(Ni) | 10 | |||
| 铜Cuprum(Cu) | 5 | |||
| 铝Aluminum(Al) | 5 | |||
| 砷Arsenic(As) | 5 | |||
| 硼Boron(B) | 5 | |||
| 镉Cadmium(Cd) | 2 | |||
| 钛Titanium(Ti) | 5 | |||
| 锂Lithium(Li) | 5 | |||
| 硅Silicium(Si) | 5 | |||
| 磷Phosphorus(P) | 2 | |||

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