高纯六氟化钨有什么用途?
高纯六氟化钨(WF6)一般指5N、6N纯度的六氟化钨,主要用于集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)领域。高纯六氟化钨主要应用于大规模集成电路化学气相沉积工艺,其沉积形成的钨导体膜可用作通孔和接触孔的互连线,具有低电阻、高熔点的特点。
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