六氟化钨有何应用？
六氟化钨(WF6)是钨氟化物中唯一稳定并被工业化生产的品种。主要用作电子工业中金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料, 用它制成的WSi2 可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料, 另外还可以作为半导体电极的原材料、氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。WF6 在非电子方面的应用:可通过CVD 技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨, 以改善钢的表面性能, 还可用于制造某些钨制部件, 如钨管和坩埚等。
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