钼电极在半导体工业中有广泛的应用。以下是一些主要的应用场景：
涂层电极：钼电极常用于涂层过程中的阳极和阴极。在半导体制造过程中，涂层电极用于薄膜沉积、蚀刻和电化学加工等工艺。钼电极的高熔点、耐蚀性和化学稳定性使其成为许多涂层工艺的理想选择。
接触电极：钼电极在半导体器件的接触结构中发挥关键作用。例如，钼电极可用于金属-氮化硅接触、金属-氮化铝接触和金属-多晶硅接触等。钼电极的低接触电阻和优异的热稳定性使其成为高性能半导体器件中常见的材料选择。
热扩散屏蔽：在半导体器件制造过程中，钼电极还可用作热扩散屏蔽材料。热扩散屏蔽用于控制和限制材料的扩散，以确保器件的性能和稳定性。钼电极具有较低的杂质扩散率和较高的熔点，使其成为有效的屏蔽材料。
衬底：钼电极常用于半导体器件的衬底材料。在硅片制备过程中，钼电极可以提供稳定的基底支撑，并提高器件的机械强度和稳定性。
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