钨针在离子注入器中的应用是什么?
钨针在离子注入器中作为阳极和支撑结构,起到以下作用:
- 阳极电极:离子注入器需要一个阳极电极来吸引和加速带电离子。钨针作为阳极电极,能够承受高电压和高电流的电场,同时保持稳定的物理性能。
- 支撑结构:离子注入器中的电极需要精确地定位和固定。钨针作为支撑结构,能够为电极提供稳定的支撑,并确保它们之间的距离和位置精度。
- 提高导电性:钨针具有高导电性和耐高温性能,可以提高离子注入器的导电性和稳定性。
- 抗腐蚀性:离子注入器在工作中会暴露于各种化学物质和气体中,钨针具有较好的抗腐蚀性,能够抵抗这些化学物质的侵蚀。
钨针在离子注入器中的应用作为阳极电极和支撑结构,对于确保离子注入器的性能和稳定性起到了重要作用。
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