锻造钼坩埚制造流程有哪些步骤?

锻造钼坩埚制造流程

锻造成型适合高精度、高强度坩埚,常见于半导体和贵金属熔炼。

步骤:

原材料准备

选择钼坯料:选用高纯钼棒或钼板(纯度≥99.95%),通过粉末冶金烧结和锻造/轧制制成,密度接近理论值。

质量控制:检测坯料的化学成分、密度和内部缺陷(如裂纹、夹杂)。

坯料预处理

切割:将钼棒或板切割成适合加工的尺寸。

加热:在 1200-1500°C 的惰性气氛或真空炉中预热坯料,增强延展性,降低加工硬化。

锻造或机械加工

粗加工:通过锻造、挤压或旋锻,将坯料初步塑形成坩埚雏形。

精加工:使用数控车床、铣床或磨床,精确加工坩埚的内外表面、壁厚和底部,确保高尺寸精度。

工艺环境:加工过程中需避免氧化,必要时在惰性气氛下进行。

热处理(退火)

在 800-1200°C 的真空或氢气气氛下退火1-2小时,消除加工应力,改善晶体结构,增强韧性。

缓慢冷却以避免热应力。

表面处理

抛光:机械或化学抛光内表面,提高光洁度和耐腐蚀性。

涂层(可选):施加抗氧化涂层(如ZrO₂)以延长高温寿命。

清洗:用酸洗或超声清洗去除油污、氧化物等杂质。

质量检测

尺寸与外观:检查坩埚尺寸、表面光洁度和几何形状。

性能测试:检测密度(~10.2 g/cm³)、硬度、显微结构和杂质含量。

无损检测:用超声波或X射线检查内部缺陷。

高温模拟(可选):验证坩埚在高温下的机械和化学稳定性。

包装与储存

同烧结坩埚,采用防氧化包装,储存在干燥环境中。

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