钼坩埚在冷却过程中需严格控制降温速率和环境条件，以避免热应力损伤、氧化和结构变形。以下是具体处理方法和注意事项：
一、冷却速率控制
原则：缓慢降温，避免急冷导致热裂纹或变形。
推荐速率：≤ 50℃/min（可通过程序控制炉温或自然冷却实现）。
示例：从 1800℃ 降至 室温，需 ≥ 3小时。
分段冷却：
阶段1：高温段（> 1000℃）以 30-50℃/min 降温；
阶段2：中温段（500-1000℃）以 10-20℃/min 降温；
阶段3：低温段（< 500℃）可自然冷却或强制通风。
二、冷却环境管理
惰性气体保护：
在 氩气、氮气 等惰性气氛中冷却，防止氧化。
流量控制：≥ 5 L/min，确保炉内氧含量 < 10 ppm。
真空冷却：
若设备支持，可采用 真空冷却（真空度 ≤ 1×10⁻³ Pa），彻底隔绝氧气。
避免水冷：
禁止直接水冷，可能导致坩埚骤冷开裂。
三、操作规范
预热与冷却对称性：
加热和冷却的速率、路径需保持一致，减少热应力集中。
坩埚放置：
冷却时保持坩埚直立，避免侧放导致局部应力过大。
冷却后处理：
表面检查：冷却至室温后，目视检查坩埚表面是否有裂纹或变形。
尺寸测量：使用游标卡尺测量关键尺寸（如壁厚、直径），确保未发生不可逆变形。
四、异常情况处理
| 异常现象 | 可能原因 | 应对措施 | 异常现象 |
| 裂纹 | 急冷或热应力 | 报废处理，重新评估冷却工艺 | 裂纹 |
| 变形 | 冷却速率不均 | 调整冷却程序，增加分段降温步骤 | 变形 |
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