钼片在等离子镀膜中主要作为溅射靶材,用于沉积钼或钼合金薄膜,广泛应用于半导体、显示器及太阳能电池制造。等离子镀膜通过高能离子轰击靶材,溅射原子沉积于基板形成薄膜。钼片通常高纯度(≥99.95%),厚度0.5-3 mm,冷轧制备,抗拉强度800-1000 MPa,硬度160-200 HV。表面抛光(粗糙度Ra<0.1 μm)确保溅射均匀性,低杂质(<50 ppm)减少薄膜缺陷。导电性(1.87 × 10⁷ S/m)支持高效等离子放电,导热性(138 W/m·K)管理靶材热量,延长寿命。低热膨胀系数(4.8 × 10⁻⁶/K)与基板匹配,减少应力。化学稳定性上,室温下耐稀酸、碱,600°C以上需真空保护避免氧化。应用包括:1)半导体:沉积电极或栅极薄膜;2)显示器:形成TFT导电层;3)光伏:制备CIGS电池背电极。优点是薄膜质量高、靶材耐用;缺点是成本高、氧化敏感。质量控制包括光谱分析、表面测试和溅射性能检测,确保薄膜一致性。
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