白钨丝在半导体制造中扮演重要角色，主要用于以下工艺：
- 加热元件：在化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD）设备中，白钨丝用作加热源，加热衬底或蒸发材料，支持硅基薄膜（如二氧化硅）或金属薄膜（如钨化物）的生长。其耐高温和热稳定性确保工艺温度精确控制。
- 电极与导线：在离子植入机或等离子刻蚀设备中，白钨丝用作电极或导线，因其高导电性和抗腐蚀性，适合高真空和强电场环境。
- 溅射靶材：白钨丝或钨基材料可加工成溅射靶材，用于沉积钨金属层或钨化合物层（如WSi₂），广泛应用于芯片互连线、栅极电极或阻挡层。
- 探针材料：在晶圆测试中，白钨丝因其高硬度和导电性，可用作探针，接触芯片焊盘以测试电路性能。
白钨丝的高纯度和稳定性对半导体工艺的洁净度和可靠性至关重要。
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