钨片在真空镀膜中的作用?

钨片在真空镀膜中的作用主要体现在其 高熔点、高密度、耐高温和良好化学稳定性,具体如下:

蒸发靶材(Evaporation Source)

钨片常用作电子束蒸发(E-beam Evaporation)或热蒸发的靶材。

在高真空条件下,钨片可承受高温加热而不熔化,用于蒸发镀膜金属或合金材料到基板表面。

阴极或加热元件

钨片可作为阴极或加热元件,将电子束集中轰击蒸发材料,使其蒸发形成薄膜。

高密度和高熔点确保其在长期高温操作下稳定不变形。

高温承载结构

在真空镀膜设备中,钨片可用作支撑架或夹具,承受高温和高真空环境,同时保持零件位置稳定。

特别适用于高温镀膜工艺或厚膜沉积。

化学稳定性

钨在真空和高温下化学性质稳定,不易氧化或挥发,保证镀膜过程中不会污染薄膜。

可用于蒸发高熔点金属或陶瓷材料,提高镀膜质量。

工艺优势

钨片可精确加工成不同尺寸和形状,方便设计蒸发源和加热结构。

其高密度有助于集中热能,提高蒸发效率。

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