钨钍电极制造工艺是怎样的?

钨钍电极制造工艺是怎样的?

钨钍电极是一种高性能电子元件,其优异的热稳定性和电子发射性能主要得益于钨-钍合金微观结构的控制。其制造工艺主要基于粉末冶金方法,整体流程包括原料准备、还原、成型、烧结、热加工及精整加工等环节。具体工艺如下:

  1. 原料制备
    高纯度 WO₃ 与 ThO₂ 按设计比例(通常 1–2% ThO₂)均匀混合。为保证最终电极性能,原料需控制杂质含量,尤其是氧、氮、铁等元素,同时粉末粒径一般为 1–5 μm,以利于后续均匀分散和烧结致密化。 
  1. 氢气还原
    将混合粉料在高温氢气气氛中进行还原,将 WO₃ 还原为金属钨,同时保持 ThO₂ 的稳定。还原通常分多阶段进行,以避免粉末团聚并控制颗粒形貌。该工序得到的钨-钍复合粉具有良好的流动性和可压缩性。

  1. 压制成型
    将粉末通过冷压或等静压(cold isostatic pressing, CIP)成型为圆棒状毛坯。等静压可获得更均匀的密度分布,减少烧结缺陷。成型压力和保持时间需优化,以兼顾致密度与粉末结构完整性。 
  1. 高温烧结
    在惰性气体或高真空条件下进行高温烧结,温度可达 2800–3000℃。烧结过程使钨晶粒长大并实现粉末间致密化,同时保持 ThO₂ 均匀分散。钍的微粒分布对电子发射性能至关重要:微米级或纳米级分布可形成稳定的电子发射中心。

  1. 热加工(锻造与拉拔)
    烧结体经过高温锻造,改善晶粒取向、消除内部孔洞和气孔,再经多道冷拉加工至最终直径(通常 0.5–6.0 mm)。这一环节可显著提高机械强度与导电性能,并优化电子发射特性。 
  1. 精整加工
    最终成型棒材需经过矫直、切割、端面研磨和表面精加工,确保尺寸精度、圆度和表面光洁度。对于高要求应用(如真空电子器件),表面粗糙度 Ra 可控制在 0.2 μm 以下。

7 微观结构与性能控制

该工艺保证 ThO₂ 在钨基体中细小且均匀分散,形成稳定的电子发射活性位点,同时通过热加工控制钨晶粒尺寸,综合提升电极的热寿命、电子发射效率和机械性能。

 

技术与应用参考

钨钍电极常用于高功率电子管、真空开关管和X射线管。

ThO₂ 含量过高会导致晶粒长大,降低机械强度;过低则降低电子发射效率。

工艺优化通常通过粉末粒径控制、烧结气氛调节及拉拔工艺改进实现。

中钨智造钨钍电极制造工艺

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