什么是六氟化钨（WF₆）？-六氟化钨（WF₆）小百科
六氟化钨（化学式 WF₆，英文名称：Tungsten hexafluoride）是一种无机化合物，是钨的一种重要高价氟化物。在常温常压下为无色、具有强腐蚀性和剧毒性的气体。其电子级纯度通常要求达到6N（99.9999%）以上，主要通过金属钨与氟气直接反应并经多级纯化工艺制得。六氟化钨在工业、电子、化学等领域都有非常关键的应用，尤其在半导体制造中，六氟化钨主要作为化学气相沉积（CVD）工艺的关键前驱体，在高温条件下分解并在晶圆表面沉积金属钨薄膜，广泛应用于互连线、栅极和阻挡层的制备。此外，在显示面板制造和光纤通信领域也有重要应用。
新闻导读 SK Specialty 六氟化钨涨价
据多家媒体综合报道（10月下旬），包括韩国SK Specialty在内的多家日韩六氟化钨（WF₆）供应商已向三星、SK海力士等半导体厂发出通知，计划自2026年起将WF₆产品单价上调70%–90%。报道指出，此轮涨价主要由钨原料价格攀升与全球高纯气体产能偏紧共同推动，供应商表示需以更高报价转嫁成本压力。部分记载称受通知企业还包括DB HiTek、Magnachip等代工/晶圆厂。
业界反应方面，芯片厂正评估涨价对加工成本与长期采购条款的影响，若涨幅落地，存量订单与器件成本或出现传导效应。这一事态将成为近期半导体供应链成本波动中的重要变量，也非常值得我们高度关注日韩在我国具有绝对优势资源的钨制品领域反向钳制我国高新技术产业的举动。据了解，早在2010年前后，我国钨业界就进行了成功的实验，但并未投入工业化生产；目前我国除了中船特气、昊华科技等企业有六氟化钨生产技术，中船特气作为国内产能领先的厂商有年2000吨产能。这一时间充分说明了我国高端钨制品制造领域的又一短板，很值得行业反思。
本文试图对六氟化钨进行详细介绍，提供更多专业资讯以飨读者。
一、六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的基本信息
六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）基本信息表
二、六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的结构与化学性质
- 六氟化钨（WF₆, Tungsten Hexafluoride）的分子结构
六氟化钨（WF₆）是八面体结构（octahedral geometry），属于Oh对称性。
中心原子钨处于+6氧化态，周围被6个氟原子等距包围。
六氟化钨（WF₆）的分子中键角均为90°。
W–F 键具有较强的极性和共价性混合特征，键能高，化学稳定性强。
- 六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的物理性质
六氟化钨（WF₆）在常温下为气体，极易挥发。
易吸湿，与空气中水蒸气反应生成氟化氢（HF）和氧氟化钨（如WO₂F₂、WO₃等）。
六氟化钨（WF₆）能溶于多种非极性溶剂（如CCl₄），但与水反应剧烈。
- 六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的化学性质
WF₆ 是一种强氧化性和强氟化性物质。
主要化学反应包括：
（1）与水反应（极剧烈）：
WF₆ + 3H₂O → WO₃ + 6HF
生成氧化钨（WO₃）和氟化氢（HF）。
（2）与金属反应（在高温下氟化金属或生成钨）：
WF₆ + 3H₂ → W + 6HF
这是一种典型的化学气相沉积反应（CVD），用于沉积纯钨薄膜。
（3）与还原剂反应：
可被氢气、氨气、硅烷（SiH₄）、硼烷（B₂H₆）等还原生成金属钨。
某试验制得的六氟化钨（Tungsten Hexafluorid，CAS号7783-82-6）基本物化特性
三、六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的制备方法
工业上常用的制备六氟化钨的途径有以下两种。
- 由金属钨与氟气反应制得六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）
W + 3F₂ → WF₆
该反应在300–400°C下进行，是工业上最常用的制备方法。反应需在镍、铜或Monel合金装置中进行，以防设备被腐蚀。
- 由五氧化二钨与氟化氢反应制取六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）
WO₃ + 6HF → WF₆ + 3H₂O
此法反应温度较高（约600°C），反应气氛需严格控制以避免生成含氧副产物。
5N六氟化钨(WF6)产品气体、金属杂质技术指标见下表（上限值）：单位ppmv
六氟化钨的CVD样品
四、六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的主要用途
- 半导体制造是六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的最重要用途
在化学气相沉积（CVD）工艺中，WF₆ 被用作钨薄膜的前驱体。
反应：WF₆ + 3H₂ → W + 6HF
所得钨膜用于集成电路（IC）金属化层、接触孔、通孔（via）填充等。
优点：沉积速度快，成膜致密、导电性高。
- 六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）表面冶金与防护涂层
六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）通过高温分解或还原可在金属表面形成钨层，提高耐磨性、耐高温性。
- 六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的其他化学用途
用作氟化剂或合成其他钨的氟化物、氧氟化物的中间体。
在等离子体化学、离子束沉积等高端工艺中作为前驱物。
全球主要的六氟化钨生产企业汇总表
五、六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的安全性与毒性
- 六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的危险特性
WF₆ 是强腐蚀性、有毒气体。
与水、湿空气反应生成氟化氢（HF），具有强烈的刺激性和腐蚀性。
吸入会导致呼吸道灼伤、水肿、咳嗽、窒息等。
与金属粉末、可燃物接触可能引起燃烧或爆炸。
- 六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的储存与运输
必须储存在干燥、密封、耐腐蚀的高压钢瓶中。
运输过程中要避免碰撞、受热及潮湿环境。
通常采用镍或不锈钢（316L）内衬容器。
- 六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的泄漏处理
应立即疏散人员，佩戴防毒面具与防化服。
泄漏区域用碱性溶液（如NaOH或Ca(OH)₂溶液）喷淋吸收。
六、六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）的环境与健康影响
WF₆ 不易在环境中长期存在，会迅速与空气中水分反应生成WO₃和HF。
主要风险来自其腐蚀性与急性吸入毒性。
不属于温室气体，但其制备和使用过程中若泄漏HF会造成酸性污染。
六、六氟化钨（WF₆）的价格是多少？
目前，高纯六氟化钨的市场价格大致在每吨70万至130万元人民币的范围内。这一价格正面临巨大的上涨压力。近日，包括SK Specialty、厚成（Foosung）、日本关东电化（Kanto Denka）在内的主要供应商已通知三星、SK海力士等半导体制造商，计划从2026年起将供应价格上调70%至90%。
我们分析认为，影响高纯六氟化钨此轮计划大幅涨价的核心原因是原材料钨价格的急剧飙升（根据中钨智造计算的数据，一吨六氟化钨中钨的含量约为0.6173 吨，即 617.3公斤）。数据显示，钨精矿、仲钨酸铵（APT）等关键原料在短期内价格翻倍，给六氟化钨生产商带来了巨大的成本压力。同时，全球半导体产业对六氟化钨的旺盛需求也支撑了此次涨价。因此，六氟化钨市场正处于一个由成本驱动的剧烈变动前期。当前价格已处于高位，而明确的涨价预期意味着半导体产业链后续将面临更高的采购成本。
七、结语和附录
结语
六氟化钨（WF₆, Tungsten hexafluoride）在高科技工业，尤其是半导体制造中极其重要，是电子工业中不可替代的关键材料气体之一。我国坐拥钨产业链绝对的资源优势，但产业链高端产品，如高纯度钨制品、高性能合金制品等尚有很大差距，这也正是我国钨产业需要努力创新的方向。
附录：
GBT 32386-2015《电子工业用气体 六氟化钨》国家标准
20243664-T-469《电子气体 六氟化钨》Gas for Electronic Industry—Tungsten Hexaflouride
六氟化钨WF6化学品安全技术说明书（MSDS）
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