什么是钨舟？
钨舟（Tungsten Boat）是一种由高纯钨片或钨板加工成舟形凹槽结构的高温电阻加热元件，主要用于真空蒸发镀膜过程中作为蒸发材料的承载体和加热体。中钨智造科技有限公司设计开发的各类型钨舟是热蒸发镀膜设备中最常见、最基础的蒸发源结构之一，利用钨的高温稳定性，将电能转化为热能，用于高纯金属薄膜的沉积，是典型的消耗型真空镀膜部件。
一、钨舟的基本定义
钨舟本质上是一种容器型钨加热子。通电后依靠电阻发热升温，将放置在其凹槽中的金属或化合物材料加热至熔化并进一步蒸发，从而在真空环境中实现薄膜沉积。
由于钨具有熔点高（3422℃）、高温蒸气压低，不易挥发污染膜层、高温强度好，不易软化塌陷等特点，因此成为真空热蒸发工艺中最常用的舟体材料。
二、钨舟的结构与形态
钨舟通常由薄钨片冲压、折弯或机加工成型，常见形态包括：
槽形舟
中间凹槽用于盛放蒸发材料、两端为电极夹持区、适合蒸发铝、银、金等金属。
深槽舟
槽深较大，适合装填较多蒸发材料，蒸发时间较长、蒸发量较大的工艺。
多槽舟
同一舟体带有多个蒸发区，用于多点或多材料蒸发，打孔或加强筋结构，用于调节电阻分布和温度均匀性，降低局部过热风险。
三、钨舟的工作原理
钨舟安装在真空蒸发镀膜设备电极之间
将待蒸发材料（丝、粒、块状）放入舟槽
在高真空（通常 10⁻²–10⁻⁴ Pa）环境中通电
钨舟电阻发热，温度升至材料蒸发温度
蒸发原子在真空中飞行并沉积到基材表面形成薄膜
钨舟本身通常不参与蒸发，仅作为加热载体和容器。
四、钨舟的性能要求
用于真空喷镀的钨舟需具备：
（1）高温形状稳定性：防止高温软化变形
（2）良好抗蠕变能力：避免长时间使用后塌陷
（3）低污染性：高纯钨，避免杂质挥发影响膜层质量
（4）均匀电阻分布：保证蒸发速率稳定
（5）抗热冲击能力：适应频繁升温与冷却循环，实际产品多采用高纯钨或掺杂钨材制造，以提高抗下垂性能。
五、钨舟的典型应用
钨舟广泛用于真空热蒸发镀膜领域，包括：光学镀膜（铝反射层）、电子元件电极镀层（Al、Ag、Au）、OLED、有机发光器件金属电极沉积、装饰镀膜和功能薄膜沉积。
六、钨舟与其他蒸发源的区别
| 蒸发源类型 | 主要材料 | 特点 | 适用场景 |
| 钨舟 | 钨片 | 成本低、结构简单、适合金属蒸发 | 通用真空蒸发 |
| 钨篮 | 钨丝 | 蒸发面积大，适合颗粒材料 | 小批量多种材料 |
| 钼舟 | 钼 | 适合某些与钨反应的材料 | 特殊金属或氧化物 |
| 陶瓷坩埚+加热丝 | 陶瓷+金属加热体 | 可蒸发低熔点或腐蚀性材料 | 有机材料、氧化物 |
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