钼合金在半导体领域中有广泛的应用,主要包括以下几个方面:
半导体加工:钼合金可以用于制作半导体加工设备中的阴极和阳极,如离子束蚀刻设备、热扩散炉等。
导电层:钼合金可以作为半导体器件中的导电层,如太阳能电池、平面显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)等。
接触材料:钼合金可以用作半导体器件中的接触材料,如场效应晶体管(FET)、金属-绝缘体-半导体场效应晶体管(MISFET)等。
晶圆夹持器:钼合金可以用于制作晶圆夹持器,用于夹持半导体晶圆。
热管理:钼合金可以用作高温热管理材料,如热散射板、热管等,帮助半导体器件有效散热。
总的来说,钼合金在半导体领域中具有良好的导电性、高温稳定性、耐腐蚀性和机械强度等优点,因此得到广泛应用。
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