TZM合金的制备方法主要有真空电弧熔炼和粉末冶金。真空熔炼法是将纯钼按质量分数添加一定量的Ti、Zr等，然后采用电弧熔炼得到钼钛锆合金。由于该方法存在工序长，工艺复杂，占用设备多，消耗大，成品率低及成本高的不足，所以限制了它的使用。
粉末冶金法是用高纯钼粉与TiH2粉、ZrH2粉及喷雾碳黑粉按比例均匀混合后经冷等静压成型，然后在保护气氛下高温（1900-2100℃）烧结，得到TZM坯料；坯料在经过1253-1350℃高温热轧（高温锻造）、600-750℃中温热轧（中温锻造）、200-300℃冷轧（冷锻），最后经去应力退火得到TZM成品料。该方法有设备投资少，工艺相对简单，生产周期短，消耗小，生产能力和成品率较高的优点。
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